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    CIF實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī)CPC-G系列

      CIF推出全新一代 CPC-G系列實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備, 顛覆傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價(jià)比高, 處理快速高效, 特別適合于大學(xué), 科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

      更新時(shí)間:2024-03-26 16:10:22
    1. 詳細(xì)信息

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    ◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

    ◆ ?PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

    ◆ ?石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

    ◆ ?采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

    ◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

    ◆ ?60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

    ◆ ?頂置真空艙,上開蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。

    ◆ ?采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

    ◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。

    ◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

    ◆ ?安全保護(hù),艙門打開,自動(dòng)關(guān)閉電源。


    技術(shù)參數(shù):

    ?

    型號(hào)

    CPC-G

    CPC-Gplus

    射頻電源

    40KHz

    13.56MHz

    射頻功率

    0-600W

    0-150W

    匹配器

    自動(dòng)匹配

    激發(fā)方式

    電容式

    氣體控制

    單路 MFC(可選兩路)

    艙體尺寸

    H100xΦ269mm

    艙體容積

    5.6L

    艙體材質(zhì)

    石英玻璃

    有效處理尺寸

    Φ269mm?圓盤

    時(shí)間設(shè)定

    9999 秒

    真空泵

    抽速 4m3/h

    氣體穩(wěn)定時(shí)間

    1 分鐘

    真空度

    100pa?以內(nèi)

    ???

    AC220V 50/60Hz ?752/302W

    產(chǎn)品尺寸

    L425xW480xH445mm

    包裝尺寸

    L550xW630xH700mm

    整機(jī)重量

    30kg

    ?